電子信號(hào)針有三種基本工作方式：

    1、點(diǎn)分析用于選定點(diǎn)的全譜定性分析或定量分析，以及對(duì)其中所含元素進(jìn)行定量分析；

    2、線(xiàn)分析用于顯示元素沿選定直線(xiàn)方向上的濃度變化；

    3、面分析用于觀察元素在選定微區(qū)內(nèi)濃度分布。

    由莫塞萊定律可知，各種元素的特征X射線(xiàn)都具有各自確定的波長(zhǎng)，通過(guò)探測(cè)這些不同波長(zhǎng)的X射線(xiàn)來(lái)確定樣品中所含有的元素，這就是電子信號(hào)針定性分析的依據(jù)。而將被測(cè)樣品與標(biāo)準(zhǔn)樣品中元素Y的衍射強(qiáng)度進(jìn)行對(duì)比，就能進(jìn)行電子信號(hào)針的定量分析。當(dāng)然利用電子束激發(fā)的X射線(xiàn)進(jìn)行元素分析，其前提是入射電子束的能量必須大于某元素原子的內(nèi)層電子臨界電離激發(fā)能。